型号

GXM03S-S1

台面尺寸:30mm×30mm 行程:±3.25mm 最大负载:19.6N (2kgf) 重量:0.1kg

GYM03S-S1

台面尺寸:30mm×30mm 行程:±3.25mm 最大负载:19.6N (2kgf) 重量:0.2kg

GXM04S-S1

台面尺寸:40mm×40mm 行程:±6.5mm 最大负载:49N (5kgf) 重量:0.23kg

GYM04S-S1

台面尺寸:40mm×40mm 行程:±6.5mm 最大负载:49N (5kgf) 重量:0.46kg

GXM05S-S1

台面尺寸:50mm×50mm 行程:±6.5mm 最大负载:78.4N (8kgf) 重量:0.31kg

GYM05S-S1

台面尺寸:50mm×50mm 行程:±6.5mm 最大负载:78.4N (8kgf) 重量:0.62kg

GXM07S-S1

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±6.5mm 最大负载:117.6N (12kgf) 重量:0.57kg

GYM07S-S1

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±6.5mm 最大负载:117.6N (12kgf) 重量:1.14kg

GXM03S-C1

台面尺寸:30mm×30mm 行程:±3.25mm 最大负载:19.6N (2kgf) 重量:0.1kg

GYM03S-C1

台面尺寸:30mm×30mm 行程:±3.25mm 最大负载:19.6N (2kgf) 重量:0.2kg

GXM04S-C1

台面尺寸:40mm×40mm 行程:±6.5mm 最大负载:49N (5kgf) 重量:0.23kg

GYM04S-C1

台面尺寸:40mm×40mm 行程:±6.5mm 最大负载:49N (5kgf) 重量:0.46kg

GXM05S-C1

台面尺寸:50mm×50mm 行程:±6.5mm 最大负载:78.4N (8kgf) 重量:0.31kg

GYM05S-C1

台面尺寸:50mm×50mm 行程:±6.5mm 最大负载:78.4N (8kgf) 重量:0.62kg

GXM07S-C1

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±6.5mm 最大负载:117.6N (12kgf) 重量:0.57kg

GYM07S-C1

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±6.5mm 最大负载:117.6N (12kgf) 重量:1.14kg

XM04A-S1

台面尺寸:40mm×40mm 行程:±3.25mm 最大负载:39.2N (4kgf) 重量:0.1kg

YM04A-S1

台面尺寸:40mm×40mm 行程:±3.25mm 最大负载:39.2N (4kgf) 重量:0.2kg

MRT125

MRT125气浮转台以其高定位精度及高重复精度也可提供真空版本。亦可用于广泛应用于涂层测试与测量晶圆和其他存在高精度需要的应用场景。

XM05A-S1

台面尺寸:50mm×50mm 行程:±3.25mm 最大负载:39.2N (4kgf) 重量:0.23kg

YM05A-S1

台面尺寸:50mm×50mm 行程:±3.25mm 最大负载:39.2N (4kgf) 重量:0.46kg

XM05A-S3-CL

台面尺寸:50mm×50mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:39.2N (4kgf) 重量:0.3kg

YM05A-S3-CL

台面尺寸:50mm×50mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:39.2N (4kgf) 重量:0.6kg

XM05A-C1

台面尺寸:50mm×50mm 行程:±3.25mm 最大负载:39.2N (4kgf) 重量:0.22kg

YM05A-C1

台面尺寸:50mm×50mm 行程:±3.25mm 最大负载:39.2N (4kgf) 重量:0.44kg

XM05A-C3-CL

台面尺寸:50mm×50mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:39.2N (4kgf) 重量:0.3kg

YM05A-C3-CL

台面尺寸:50mm×50mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:39.2N (4kgf) 重量:0.6kg

XM07A-S1

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±6.5mm 最大负载:58.8N (6kgf) 重量:0.43kg

YM07A-S1

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±6.5mm 最大负载:53.9N (5.5kgf) 重量:0.86kg

XM07A-S3-CL

台面尺寸:70mm×70mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:58.8N (6kgf) 重量:0.47kg

YM07A-S3-CL

台面尺寸:70mm×70mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:53.9N (5.5kgf) 重量:0.93kg

XM07F-S1

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±6.5mm 最大负载:117.6N (12kgf) 重量:0.92kg

YM07F-S1

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±6.5mm 最大负载:107.8N (11kgf) 重量:1.84kg

XM07F-S3-CL

台面尺寸:70mm×70mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:117.6N (12kgf) 重量:0.96kg

YM07F-S3-CL

台面尺寸:70mm×70mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:107.8N (11kgf) 重量:1.92kg

XM07A-C1

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±6.5mm 最大负载:58.8N (6kgf) 重量:0.44kg

YM07A-C1

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±6.5mm 最大负载:53.9N (5.5kgf) 重量:0.88kg

XM07A-C3-CL

台面尺寸:70mm×70mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:58.8N (6kgf) 重量:0.48kg

YM07A-C3-CL

台面尺寸:70mm×70mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:53.9N (5.5kgf) 重量:0.96kg

XM07F-C1

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±6.5mm 最大负载:117.6N (12kgf) 重量:0.92kg

YM07F-C1

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±6.5mm 最大负载:107.8N (11kgf) 重量:1.84kg

XM07F-C3-CL

台面尺寸:70mm×70mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:117.6N (12kgf) 重量:0.96kg

YM07F-C3-CL

台面尺寸:70mm×70mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:107.8N (11kgf) 重量:1.92kg

YM07A-S1W

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±3mm 最大负载:49N (5kgf) 重量:0.36kg

XM10A-S1

台面尺寸:100mm×100mm 行程:±12.5mm 最大负载:98N (10kgf) 重量:0.85kg

YM10A-S1

台面尺寸:100mm×100mm 行程:±12.5mm 最大负载:88.2N (9kgf) 重量:1.7kg

XM10A-S3-CL

台面尺寸:100mm×100mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:98N (10kgf) 重量:0.85kg

YM10A-S3-CL

台面尺寸:100mm×100mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:88.2N (9kgf) 重量:1.7kg

XM10F-S1

台面尺寸:100mm×100mm 行程:±12.5mm 最大负载:196N (20kgf) 重量:1.6kg

YM10F-S1

台面尺寸:100mm×100mm 行程:±12.5mm 最大负载:176.4N (18kgf) 重量:3.2kg

XM10F-S3-CL

台面尺寸:100mm×100mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:196N (20kgf) 重量:1.6kg

YM10F-S3-CL

台面尺寸:100mm×100mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:176.4N (18kgf) 重量:3.2kg

XM10A-C1

台面尺寸:100mm×100mm 行程:±12.5mm 最大负载:98N (10kgf) 重量:0.85kg

YM10A-C1

台面尺寸:100mm×100mm 行程:±12.5mm 最大负载:88.2N (9kgf) 重量:1.7kg

XM10A-C3-CL

台面尺寸:100mm×100mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:98N (10kgf) 重量:0.85kg

YM10A-C3-CL

台面尺寸:100mm×100mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:88.2N (9kgf) 重量:1.7kg

XM10F-C1

台面尺寸:100mm×100mm 行程:±12.5mm 最大负载:196N (20kgf) 重量:1.6kg

YM10F-C1

台面尺寸:100mm×100mm 行程:±12.5mm 最大负载:176.4N (18kgf) 重量:3.2kg

XM10F-C3-CL

台面尺寸:100mm×100mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:196N (20kgf) 重量:1.6kg

YM10F-C3-CL

台面尺寸:100mm×100mm 行程:粗调 13mm, 微调 0.3mm 最大负载:176.4N (18kgf) 重量:3.2kg

XM16A-S1

台面尺寸:160mm×160mm 行程:±12.5mm 最大负载:196N (20kgf) 重量:2.7kg

YM16A-S1

台面尺寸:160mm×160mm 行程:±12.5mm 最大负载: 166.6N (17kgf) 重量:5.4kg

XM16A-C1

台面尺寸:160mm×160mm 行程:±12.5mm 最大负载:196N (20kgf) 重量:2.7kg

YM16A-C1

台面尺寸:160mm×160mm 行程:±12.5mm 最大负载: 166.6N (17kgf) 重量:5.4kg

型号

ZM04A-C1

台面尺寸:40mm×40mm 行程:±2.5mm 最大负载:24.5N (2.5kgf) 重量:0.19kg

ZM05A-C1C

台面尺寸:50mm×50mm 行程:±1.5mm 最大负载:39.2N(4kgf) 重量:0.29kg

ZM05A-C1S

台面尺寸:50mm×50mm 行程:±3.75mm 最大负载:39.2N(4kgf) 重量:0.41kg

ZM05A-S1K

台面尺寸:50mm×50mm 行程:±3.25mm 最大负载:19.6N (2kgf) 重量:0.33kg

ZM05A-S3K

台面尺寸:50mm×50mm 行程:粗调±3.25mm，微调 0.15mm 最大负载:19.6N (2kgf) 重量:0.38kg

ZM05A-C1K

台面尺寸:50mm×50mm 行程:±3.25mm 最大负载:19.6N (2kgf) 重量:0.3kg

ZM07A-S1K

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±3.75mm 最大负载: 29.4N (3kgf) 重量:0.7kg

ZM07A-S3K

台面尺寸:70mm×70mm 行程:粗调±3mm，微调 0.15mm 最大负载: 29.4N (3kgf) 重量:0.9kg

ZM07A-V1F

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±10mm 最大负载: 117.6N (12kgf) 重量:1.9kg

ZM07A-C3C

台面尺寸:70mm×70mm 行程:粗调±1.5mm，微调 0.075mm 最大负载:49N (5kgf) 重量:0.75kg

ZM07A-C6C01

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±2.5mm 最大负载:49N (5kgf) 重量:0.85kg

ZM10A-C3C

台面尺寸:100mm×100mm 行程:粗调±1.5mm，微调 0.075mm 最大负载:68.6N (7kgf) 重量:1.7kg

ZM10A-C6C

台面尺寸:100mm×100mm 行程:±2.5mm 最大负载:68.6N (7kgf) 重量:1.8kg

GZM03S-X1

台面尺寸:30mm×30mm 行程:±3.25mm 最大负载:19.6N (2kgf) 重量:0.14kg

GZM04S-X1

台面尺寸:40mm×40mm 行程:±6.5mm 最大负载:29.4N (3kgf) 重量:0.31kg

GZM05S-X1

台面尺寸:50mm×50mm 行程:±6.5mm 最大负载:29.4N (3kgf) 重量:0.49kg

GZM07S-X1

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±6.5mm 最大负载:29.4N (3kgf) 重量:0.95kg

ZM05A-X1

台面尺寸:50mm×50mm 行程:±3.25mm 最大负载:19.6N (2kgf) 重量:0.3kg

ZM07A-X1

台面尺寸:70mm×70mm 行程:±6.5mm 最大负载:29.4N (3kgf) 重量:0.8kg

ZM10A-X1

台面尺寸:100mm×100mm 行程:±12.5mm 最大负载:39.2N (4kgf) 重量:1.8kg

型号

RM04A-D1

台面尺寸:φ36mm 行程:粗调 360°，微调 ±3° 最大负载:29.4N (3kgf) 重量:0.14kg

RM05A-D1

台面尺寸:φ49mm 行程:粗调 360°，微调 ±3° 最大负载:39.2N (4kgf) 重量:0.19kg

RM07A-C1

台面尺寸:φ68mm 行程:粗调 360°，微调 ±3° 最大负载:98N (10kgf) 重量:0.42kg

RM07A-C3

台面尺寸:φ68mm 行程:粗调 360°，微调 ±3° 最大负载:98N (10kgf) 重量:0.49kg

RM10A-C1

台面尺寸:φ98mm 行程:粗调 360°，微调 ±3° 最大负载:147N (15kgf) 重量:0.77kg

RM10A-C3

台面尺寸:φ98mm 行程:粗调 360°，微调 ±3° 最大负载:147N (15kgf) 重量:0.83kg

RM13A-C1

台面尺寸:φ128mm 行程:粗调 360°，微调 ±3° 最大负载:196N (20kgf) 重量:1.4kg

RM13A-C3

台面尺寸:φ128mm 行程:粗调 360°，微调 ±3° 最大负载:196N (20kgf) 重量:1.4kg

RM16A-C1

台面尺寸:φ158mm 行程:粗调 360°，微调 ±3° 最大负载:294N (30kgf) 重量:1.9kg

RM16A-C3

台面尺寸:φ158mm 行程:粗调 360°，微调 ±3° 最大负载:294N (30kgf) 重量:1.9kg

型号

SH03B-DT

台面尺寸:30mm×30mm 行程:±10°,30mm±0.1mm 最大负载:9.8N (1kgf) 重量:0.1kg

SH03B-DM

台面尺寸:30mm×30mm 行程:±10°,44mm±0.1mm 最大负载:9.8N (1kgf) 重量:0.1kg