SmarAct

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运动系统

      SmarAct提供标准串联结构模块化运动定位系统和并联运动系统(SmarPodTriPod)。

SmarPod是具有1nm分辨率的六自由度定位系统。具有高度集成化结构,最小直径70.42mm。绝大部分型号支持真空、超高真空和非磁性材料。

      串联模块化系统适合根据用户需要搭建不同自由度,不同行程要求运动系统组合。




型号 行程范围(mm) 尺寸(mm) 重量(g)
XY-MLS-92:122
XY-MLS-52:82
XY-MLS-32:52
XY-X-MLS-92:122-Y-MLS-52:82
XYZ-X-MLS-5282-Y-MLS-32:52
XYZ-MLS-92:122
XYZ-MLS-52:82
XYZ-MLS-32-52
XY-SLC-17:22
XY-SLC-17:30
XY-SLC-17:80
XY-SLC-24:60
XYZ-SLC17:30
XYZ-SLC23:30
XYZ-XY SLC17:40 Z SLC17:30
XYZ-CLS32:32
XYZR-XYZ SLC17:30 Z SRP20:11
XYZR-XYZ CLS32:32 Z SRP32:11
SmarPod-70.42
SmarPod-110.45
SmarPod-CLS-32
SmarPod-225.75
P-SLC-17
P-SLC-24
P-CLL
TriPod-52-6DoF
TriPod-92-6DoF