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高负载压电Z轴台

       CHSSHL系列的高负载压电Z轴台设计用于处理重负载。

       它的机械设计基于楔形结构,确保载物台运动的最高分辨率。采用单独的导轨确保沿负载方向运动的直线度,并允许集成位置传感器,以实现直接位置反馈和闭环操作。CHS配备了SmarAct的可更换驱动单元,便于维护。CHSSHL也可以组合在一起,形成在所有三个维度上都具有高阻塞力的多轴系统。

       通过精巧的设计,Z轴台在保证高有效载荷的同时,自身结构仍然非常紧凑,适用于各种空间受限的应用场景。



型号 行程范围(mm) 尺寸(mm) 重量(g)
CHS-3232-1D-5
CHS-5237-1D-15
CHS-9257-1D-15
SHL-3D5N-5
SHL-1D80N-1