ESS在微加工和空气轴承技术方面的丰富知识为客户提供了多种选择。我们提供 精确定制的空气轴承装置和系统以及各种标准产品。 通过使用航空铝材料,无论是材料加工、测量和测试工程,还是微电子、印刷或 光学应用。 我们已开发出基于多种标准化模块,可作为系统集成中的子模块使用。
MRT气浮转台以其高定位精度及高重复精度也可提供真空版本。亦可用于广泛应用于涂层测试与测量晶圆和其他存在高精度需要的应用场景。