压电直线台
SmarAct运动系统,基于SmarAct专利的控制系统和光学编码器,为微纳米尺度的运动定位提供了分辨率可达1nm的高性能解决方案。
针对特殊使用环境,SmarAct提供支持超高真空(1E-11mbar);超低温(低至mK的温度);非磁性(强磁场或带电粒子环境)等特殊环境要求的运动系统。
SmarAct计量开发先进的设备,包括从用于位移测量的小型干涉仪,到用于表征最小半导体技术节点的强大电纳米探针台。它们同样支持真空,低温或其他严苛环境的应用要求。