ESS在微加工和空气轴承技术方面的丰富知识为客户提供了多种选择。我们提供 精确定制的空气轴承装置和系统以及各种标准产品。 通过使用航空铝材料,无论是材料加工、测量和测试工程,还是微电子、印刷或 光学应用。 我们已开发出基于多种标准化模块,可作为系统集成中的子模块使用。
RME系列的测量装置,ESS提供了一种旋转对称的完整测量系统,空气轴承可确保径向、横向跳动精度高达0.25μm。