行程：450mm*550mm* ± 90°
       定位精度：± 1μm
       重复定位精度：± 0.5μm
       静态直线度：± 1.5μm
       负载：40kg
       最大加速度：1000mm/s
       最大加速度：3g
       俯仰：2 arc
       转动：2 arc
       偏摆：1 arc
       XY正交性：1 arc
       平均无故障时间 > 4000 hrs