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MRT系列

      MRT气浮转台以其高定位精度及高重复精度也可提供真空版本。亦可用于广泛应用于涂层测试与测量晶圆和其他存在高精度需要的应用场景。


型号 台面尺寸 转速(RPM) 负载(N) 端跳(nm) 径跳(nm)
MRT075 Φ75 2300 250 30 50
MRT125 Φ125 2300 250 40 50
MRT150 Φ150 2000 800 40 30