SmarAct为微纳米范围的处理和定位开发了高性能解决方案。广泛的产品组合- 从单级到复杂的并联运动学、微型机器人和易于使用的控制系统-由基于强大激 光干涉仪的精密测量设备完成。 我们为光学、生命科学、微组装、半导体和显微镜等领域的研究和工业提供高 精度定位和计量应用。保持内部的完整生产可以实现高水平的定制。 因此,我们始终为您提供最佳的个人或OEM解决方案
CHS和SHL系列的高负载压电Z轴台设计用于处理重负载。
它的机械设计基于楔形结构,确保载物台运动的最高分辨率。采用单独的导轨确保沿负载方向运动的直线度,并允许集成位置传感器,以实现直接位置反馈和闭环操作。CHS配备了SmarAct的可更换驱动单元,便于维护。CHS和SHL也可以组合在一起,形成在所有三个维度上都具有高阻塞力的多轴系统。
通过精巧的设计,Z轴台在保证高有效载荷的同时,自身结构仍然非常紧凑,适用于各种空间受限的应用场景。